mikroelektronika

Filtri CMP

Në procesin CMP, produktet me diapazon të madh të përmasave të grimcave duhet të filtrohen, grimcat efektive duhet të mbahen për bluarje dhe grimcat me përmasa të vogla që mund të kapin sipërfaqen duhet të hiqen.Nga këndvështrimi i performancës strikte të përgjimit të grimcave të bërthamës më të përshtatshme, sa më shumë grimca efektive duhet të lëshohen sa më shumë që të jetë e mundur për të përgjuar me efikasitet grimcat me përmasa të mëdha.