V postopku CMP je treba izdelke z velikim razponom velikosti delcev filtrirati, učinkovite delce je treba obdržati za mletje, velike delce, ki lahko razpraskajo površino, pa je treba odstraniti.Glede na strogo zmogljivost prestrezanja delcev fiterskega jedra je treba sprostiti čim več učinkovitih delcev, da učinkovito prestrežemo delce velikih velikosti.
