CMP प्रक्रियेत, मोठ्या कणांच्या आकाराच्या श्रेणीसह उत्पादने फिल्टर केली जावीत, प्रभावी कण पीसण्यासाठी राखून ठेवावेत आणि पृष्ठभागावर खरचटू शकणारे iarge-आकाराचे कण काढले जावेत.फिटर कोअरच्या कठोर कण इंटरसेप्शन कार्यक्षमतेच्या दृष्टीकोनातून, मोठ्या आकाराच्या कणांना योग्यतेने रोखण्यासाठी शक्य तितके प्रभावी कण सोडले पाहिजेत.
