микроелектроника

CMP филтер

Во процесот на CMP, производите со голем опсег на големина на честички треба да се филтрираат, ефикасните честички треба да се задржат за мелење и да се отстранат честичките со голема големина што може да ја изгребат површината.Во поглед на перформансите на строгото пресретнување на честичките на подобреното јадро, треба да се ослободат колку што е можно повеќе ефективни честички за елегантно пресретнување на честички со големи димензии.