CMP procesā produkti ar lielu daļiņu izmēru diapazonu ir jāfiltrē, efektīvas daļiņas jāsaglabā slīpēšanai un jānoņem liela izmēra daļiņas, kas var saskrāpēt virsmu.Ņemot vērā piemērotā kodola stingro daļiņu pārtveršanas veiktspēju, ir jāizlaiž tik daudz ektīvās daļiņas, kas ir iespējams, lai pārtvertu liela izmēra daļiņas.
