ໃນຂະບວນການ CMP, ຜະລິດຕະພັນທີ່ມີຂະຫນາດອະນຸພາກຂະຫນາດໃຫຍ່ຄວນໄດ້ຮັບການກັ່ນຕອງ, particles ປະສິດທິພາບຄວນໄດ້ຮັບການເກັບຮັກສາໄວ້ສໍາລັບການ grinding ແລະ particles ຂະຫນາດ irge ທີ່ອາດຈະ scatchthe ດ້ານຄວນໄດ້ຮັບການໂຍກຍ້າຍອອກ.ໃນທັດສະນະຂອງການປະຕິບັດການສະກັດກັ້ນອະນຸພາກທີ່ເຂັ້ມງວດຂອງຫຼັກ fiter, ເປັນອະນຸພາກປະສິດທິພາບຈໍານວນຫຼາຍຄວນຈະໄດ້ຮັບການປ່ອຍອອກມາເປັນໄປໄດ້ເພື່ອ elicienty ຂັດຂວາງອະນຸພາກຂະຫນາດໃຫຍ່.
