mikroelektroonika

CMP filter

CMP-protsessis tuleks suure osakeste suurusvahemikuga tooted filtreerida, tõhusad osakesed tuleks peenestamiseks alles jätta ja eemaldada pinda kriimustada võivad suure suurusega osakesed.Pidades silmas sobituva südamiku ranget osakeste pealtkuulamise jõudlust, tuleks vabastada nii palju kui võimalik, et suuremõõtmelisi osakesi tabada.