mikro-elektronika

CMP-filter

In die CMP-proses moet produkte met 'n groot deeltjiegroottereeks gefiltreer word, doeltreffende deeltjies moet behou word vir maal en grootgrootte deeltjies wat die oppervlak kan krap, moet verwyder word.In die lig van die streng deeltjie-onderskeppingsprestasie van die fitter kern, moet soveel effektiewe deeltjies vrygestel word as moontlik om groot-grootte deeltjies doeltreffend te onderskep.