Дар раванди CMP, маҳсулоте, ки диапазони андозаи зарраҳои калон доранд, бояд филтр карда шаванд, зарраҳои таъсирбахш барои дастос нигоҳ дошта шаванд ва зарраҳои калонҳаҷм, ки сатҳи онро пошида метавонанд, хориҷ карда шаванд.Бо назардошти иҷрои қатъии боздоштани зарраҳои ядрои фитр, зеро бисёр зарраҳои эффективӣ бояд ба қадри имкон раҳо карда шаванд, то заррачаҳои ҳаҷмашон калонро ба даст оранд.
