د نبات سیسټم باید د FAB په اوږدو کې د پاکو کیمیاوي موادو، الټرا پاکو اوبو، او پاکو پروسس ګازونو ثابت عرضه چمتو کړي.دا په هره برخه کې کارول شوي فلټر عنصر ثبات او دوام لپاره لوړې اړتیاوې وړاندې کوي.د هانګزو ډوله لوی جریان فلټر عنصر ، د امنیت فلټر عنصر ، د لوړ دقیق فولډ فولډ فلټر ایلیمینل او پرفلورین شوي فلټر عنصر لړۍ د فابریکې مدیریت سیسټم لپاره مستحکم فلټریشن خدمت چمتو کوي
