микроэлектроник

Литографийн үйл явц

Боловсруулах шугамын өргөнийг боловсронгуй болгох шаардлага нь бүтээгдэхүүний цэвэр хяналт улам бүр хатуу болж, хур тунадасны шаардлагатай бохирдуулагч бодис ба металлын ионууд нь шүүлтүүр элементийг үйлдвэрлэхэд илүү өндөр шаардлагыг тавьдаг.Ийм шүүлтүүр нь практиктай хослуулан өндөр цэвэршилттэй бүтээгдэхүүнээр үйл явцыг сайжруулж, бүтээгдэхүүний чанарыг баталгаажуулдаг