միկրոէլեկտրոնիկա

Լիտոգրաֆիայի գործընթաց

Մշակման գծի լայնության ճշգրտման պահանջի դեպքում արտադրանքի մաքուր հսկողությունը դառնում է ավելի ու ավելի խիստ, տեղումների արտանետումները աղտոտիչները և մետաղական իոնները բարձրացնում են ֆիլտրի տարրի արտադրության համար պահանջներ:Նման ֆիլտրացումը համատեղվում է պրակտիկայի հետ՝ ապահովելու բարձր մաքրության կանխատեսումներ գործընթացի արդիականացման և արտադրանքի որակի ապահովման համար