mikroelektronika

CMP filtar

U CMP procesu, proizvode s velikim rasponom veličine čestica treba filtrirati, učinkovite čestice treba zadržati za mljevenje, a čestice velike veličine koje mogu zaprljati površinu treba ukloniti.S obzirom na strogu izvedbu presretanja čestica fiter jezgre, potrebno je osloboditi što više učinkovitih čestica kako bi se učinkovito presrele čestice velike veličine.