Στη διαδικασία CMP, τα προϊόντα με μεγάλο εύρος μεγεθών σωματιδίων θα πρέπει να φιλτράρονται, τα αποτελεσματικά σωματίδια θα πρέπει να διατηρούνται για λείανση και τα σωματίδια μικρού μεγέθους που μπορεί να κολλήσουν την επιφάνεια πρέπει να αφαιρούνται.Λαμβάνοντας υπόψη την αυστηρή απόδοση αναχαίτισης σωματιδίων του πυρήνα προσαρμογής, θα πρέπει να απελευθερωθούν όσο το δυνατόν περισσότερα ενεργητικά σωματίδια για να αναχαιτίσουν σωματίδια μεγάλου μεγέθους.
