Mikroelektronik

Lithographie-Prozess

Mit der Verfeinerungsanforderung der Verarbeitungslinienbreite wird die saubere Kontrolle des Produkts immer strenger. Die Ausfällungsanforderungen an Schadstoffe und Metallionen stellen höhere Anforderungen an die Herstellung des Filterelements.Eine Art Filtration kombiniert mit der Praxis, um hochreine Produkte für die Prozessverbesserung bereitzustellen und die Produktqualität sicherzustellen