mikroelektronika

CMP filter

U CMP procesu, proizvode s velikim rasponom veličina čestica treba filtrirati, efikasne čestice treba zadržati za mljevenje, a čestice velike veličine koje mogu uhvatiti površinu treba ukloniti.S obzirom na striktne performanse presretanja čestica u jezgri filtera, trebalo bi osloboditi što je moguće više efektivnih čestica da bi efikasno presretnule čestice velike veličine.