микроелектроника

Процес на литография

С изискването за усъвършенстване на ширината на линията за обработка, чистият контрол на продукта става все по-строг. Изискванията за утаяване на замърсители и метални йони поставят по-високи изисквания за производството на филтърния елемент.Един вид филтриране се съчетава с практика, за да осигури продукти с висока чистота за надграждане на процеса и гарантиране на качеството на продукта