የእጽዋት ስርዓቱ የተረጋጋ የንፁህ ኬሚካሎች አቅርቦት፣ ultrapure ውሃ እና ንጹህ ሂደት ጋዞች በኤፍኤቢ ውስጥ ማቅረብ አለበት።ይህ በእያንዳንዱ ክፍል ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውለው የማጣሪያ ክፍል መረጋጋት እና ወጥነት ከፍተኛ መስፈርቶችን ያስቀምጣል።Hangzhou kinda ትልቅ ፍሰት ማጣሪያ አባል፣ የደህንነት ማጣሪያ አባል፣ ከፍተኛ ትክክለኛነትን መታጠፍ filterelemenl እና perfluorinated ማጣሪያ አባል ተከታታይ ለፋብሪካ አስተዳደር ሥርዓት የተረጋጋ የማጣሪያ አገልግሎት ይሰጣሉ
