Yn it CMP-proses moatte produkten mei in grut berik fan partikelgrutte wurde filtere, effektive dieltsjes moatte wurde bewarre foar slypjen en dieltsjes fan grutte grutte dy't it oerflak kinne scatch moatte wurde fuortsmiten.Mei it each op 'e strange dieltsje-ûnderskeppingsprestaasjes fan' e fitere kearn, moatte safolle eflektive dieltsjes frijlitten wurde as mooglik om dieltsjes fan grutte grutte te ûnderskeppen.
